切削刀具表面耐磨硬度dlc涂层技术探讨
1、cvd简介（chemical vapor deposition——化学气相沉积
(1）将各种化学反应物质：如四氯化钛（ticl4）和甲烷（ch4）等含碳气体（或其它碳氮气体）蒸气等通入反应炉体内，在高温（900~1200℃）状态下，ticl4中的钛（ti）和碳氢化合物中的碳（c）在模具表面进行化学反应，从而生成一层金属化合物涂层碳化钛（tic）。利用不同的反应物，可得到不同的薄膜，如tin、ti（cn）、crc等等。
（2）cvd的优点：      
①镀膜与基材的附着性优良；      
②复杂的形状都可以处理：如深孔、内管、细缝等。
（3）cvd的优点：      
①镀膜温度太高，对基材和反应设备的耐热性要求很高，很多工件难以承受；      
②高温使基材尺寸变化和变形严重，故适于精密度高的工件；      
③对于要求工件局部镀膜，难以实现；      
④活泼性气体源的使用，制程中有**、毒性气体泄漏等隐患，且对环境有污染。
2、td简介（thermal diffusion coating process——热扩散法碳化物覆层处理）
（1）在空气炉或盐槽中放入一个耐热的坩埚，将硼砂放入坩埚加热熔化至800~1200℃，然后加入相应的碳化物形成粉末（如钛、钡、铌、铬），再将钢或硬质合金工件放入坩埚中浸渍保温1~2小时，加入元素将扩散至工件表面并与钢中的碳发生反应形成碳化物层（如：vc—碳化钒；crc—碳化铬），所得到的碳化物层具有很高的硬度和耐磨性。
td*主要适合于以下铬钢的工件td的优点：       
①覆层与基材的附着性优良；      
覆层的厚度较厚。td的缺点：
①处理温度太高，对基材的耐热性要求很高，很多工件难以承受；      
②高温使基材尺寸变化和形变严重，故不适于精密度高的工件；      
③对于要求工件局部镀膜，难以实现；      
④覆层的厚度较厚，精密工件精度会受影响；      
⑤覆层后表面状况较差，一般须作后处理（如抛光等）才可使用
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