简单介绍：
小型3靶等离子溅射镀膜仪是一款紧凑型三旋转靶等离子溅射镀膜机，带有触摸屏数字控制器和能够加热至500℃的基板加热器。可以将1-3种金属材料涂覆到直径为50mm的样品上。 有三个溅射靶：金、银、铜包括在内可立即使用。
详情介绍：
小型3靶等离子溅射镀膜仪产品性能：
可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。本机采用plc控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
技术规格：
输入功率
•    单相220 vac，50 / 60hz
•     700 w（包括真空泵）
•    对于使用110 vac，我们将为您提供变压器。
输出功率
1600 vdc,40 ma max
真空室
•    真空室: 150 mm id×165mm od×150 mm h,由高纯度石英制成
•    密封法兰由不锈钢制成，带有扁平o形圈
带加热器的样品台
•    样品台尺寸:直径50 mm.
•    溅射距离范围: 25–40 mm可调
•    具有三个溅射位置的可旋转平台（由触摸屏控制）
•    内置基板加热器，zui高加热温度为500℃
•    触摸屏集成了精度为+/- 1℃的pid温度控制器
控制面板
•  6”彩色触摸屏，plc集成，操作简便
• 真空计、溅射电流计和基板温度控制集成在触摸屏面板上
• 前面板上的调节旋钮用于进气和溅射电流控制
• 可通过触摸屏访问溅射位置，溅射计时器和过程记录

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郑州成越科学仪器有限公司